Vx與Vr均是矢量電壓表,Rr是理想電阻。自平衡電橋的意思是:當(dāng)DUT(Device Under Test)接入電路時(shí),放大器的負(fù)反饋配置自動(dòng)使得OP輸入端虛地。Vx準(zhǔn)確測定DUT兩端電壓(DUT的Low電位是0),Vr與Rr測得DUT電流Ix,由此可計(jì)算Zx。
高頻LCR測試儀HP4275的測試端Hp,Hc,Lp,Lc(下標(biāo)c代表current, 下標(biāo)p代表Potentail),Guard(接地)的配置可導(dǎo)致測試的誤差的差異。
高頻LCR測試儀提高精度的方法是: 1,Hp,Lp,Hc,Lc盡量接近DUT; 2,減小測試電流Ix的回路面積&磁通量(關(guān)鍵是分析Ix,要配合使用Guard與Cable*小化回路面積);3,使用Gurard與Cable構(gòu)建地平面中斷信號(hào)線間的電場連接,雖然會(huì)增加信號(hào)線的對(duì)地電容(對(duì)地電容不影響測試結(jié)果),但是會(huì)減少信號(hào)線的互容。
Guard與Cable的對(duì)地寄生阻抗(Zhg,Zlg) 不影響測試結(jié)果,電橋平衡時(shí)Zlg的兩端電壓是0,流向Rr的電流不會(huì)被Zlg分流,Zhg的分流作用不影響Hp的電壓測量。